塵埃粒子檢測儀器是用于測量潔凈環(huán)境中單位體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器。它可廣泛應(yīng)用于血液中心、防疫站、疾控中心、質(zhì)量監(jiān)督所等機構(gòu)、電子行業(yè)、制藥車間、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機械加工、塑膠、噴漆、醫(yī)院、環(huán)保、檢驗所等生產(chǎn)企業(yè)和科研部門。

　　塵埃粒子檢測儀器的測試程序：

　　1.確定采樣點的位置及數(shù)量，采樣點應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的面積內(nèi)，并應(yīng)位于工作面高度。

　　2.確定單次最小采樣量與取樣時間。每個采樣點的采樣量應(yīng)至少為2L，采樣時間應(yīng)至少為1min，當潔凈室(區(qū))僅有1個采樣點時，在該點應(yīng)至少采樣3次。METone3445塵埃粒子計數(shù)器采樣流量為100L/min，因此單次取樣時間1分鐘時，能滿足測試要求。

　　3.粒子計數(shù)器的采樣探頭不得直接置于送風(fēng)口整下方。當測單向流設(shè)施的潔凈度時，采樣頭應(yīng)對準氣流;當測非單向流時，采樣探頭一律朝上。

　　4.室內(nèi)測試人員應(yīng)穿潔凈服，不得超過3人，測試人員應(yīng)位于測試點的下風(fēng)側(cè)并遠離測試點，并應(yīng)保持靜止。進行換點操作時，動作要輕，應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。

　　5.當采樣點只有1個或多于9個時，不計算95%置信上限;當采樣點為1個以上10個以下時，除應(yīng)計算各采樣點的平均值和總平均值外，還應(yīng)計算計算95%置信上限。

　　6.每個采樣點測得粒子濃度的平均值以及潔凈室總平均值95置信上限均未超過空氣潔凈度等級的濃度限值時，可認為該潔凈室(區(qū))已達到規(guī)定的空氣潔凈度等級。

　　塵埃粒子檢測儀器是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。